480kg铸锭工艺的研究

• 作者: 吴彬辉 张泽兴 朱立平 王沛涛
• 来源期刊: 中国建设动态：阳光能源
• 学科: 工学
• 关键词: 坩埚 铸锭工艺 晶粒 热场 温度梯度
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TF821.07

摘要

目前GT铸锭炉使用的是878mm×878mm×420mm坩埚和450kg的铸锭工艺。在装料的质量上由于坩埚尺寸原因而受到限制,同时由于铸锭工艺的原因导致生产出来的晶锭晶粒偏小,进而影响多晶硅片的转换效率。本文论述了通过采用定制的加高坩埚和全新的铸锭工艺来生产480kg晶锭,不仅增加了硅料的投炉质量,而且增大了晶锭中晶粒的尺寸,提高了多晶硅片的转换效率。通过对480kg与450kg铸锭工艺生产的晶锭数据进行对比后发现,前者的铸锭工艺要明显优于后者。