多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究

• 作者: 刘志凯 商景利 张伟 戴斌煜
• 来源期刊: 特种铸造及有色合金
• 关键词: 多晶硅 免烧结 氮化硅涂层 粘结剂
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 实用研究
• 页码范围: 116-118
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4+1|TN304.1+2
• 语种: 中文

摘要

研究了石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺.在氮化硅浆料中加入一定量固体和液体粘结剂,使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁,喷涂完成后在70～80℃保温2h直接装入硅料,免去了传统涂层制备工艺中坩埚需在1 050℃温度下烧结6～7 h的工艺过程.此工艺可缩短晶锭的生产周期,提高生产效率,降低生产成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴斌煜	南昌航空大学航空制造工程学院	39	193	7.0	12.0
2	商景利	南昌航空大学航空制造工程学院	22	170	7.0	12.0
3	张伟	南昌航空大学航空制造工程学院	8	41	4.0	6.0
4	刘志凯	南昌航空大学航空制造工程学院	2	20	2.0	2.0