光学成像系统光学波前的高精度测试

• 作者: 聂真威 邵晶 马冬梅
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 光学成像系统 光学波前 光瞳函数 出瞳振幅分布 相位复原
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2582-2588
• 分类号: TH70|TH74
• 字数: 2357字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111911.2582

摘要

基于扩展奈波尔-泽尼克理论,分析了不同出瞳振幅分布情况对光学系统焦面处光强分布的影响.针对光学成像系统出瞳振幅实际分布状态,提出了一种新的测试光学波前的方法,解决了相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算误差的问题.通过测评实验,对一光学系统进行了测试,获得的光学系统出瞳波前(PV)值为0.196 5λ,RMS值为0.022 4λ(测试波长λ=632.8 nm),此波前中主要含有像散、彗差和高阶像散等像差.该方法亦可用于分析光学系统出瞳振幅分布,数值计算其他焦面处的光强分布.测评实验证明了此方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马冬梅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	48	388	11.0	15.0
2	邵晶	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	57	5.0	7.0
6	聂真威	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	25	2.0	5.0