MEMS应变式结冰传感器设计与制作

• 作者: 李宗兴 王军波 陈德勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 结冰传感器 微传感器 箔式应变片 温度补偿电路 电桥恒流驱动
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1108-1113
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.08.005

摘要

提出了一种MEMS应变式结冰传感器.传感器基于结冰造成薄膜刚度改变的原理,采用惠斯通电桥结构检测结冰薄膜上应变电阻的变化,感知结冰信号.传感器利用惠斯通电桥自身结构及外加温度补偿电路,可有效地抑制输出信号的温漂.通过理论分析和有限元仿真,分析了器件的敏感机理,并对结构参数进行计算.采用与IC工艺兼容的体硅MEMS工艺完成传感器的加工.实验结果表明,传感器检测结冰厚度的灵敏度优于0.1mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
2	王军波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	41	304	10.0	16.0
3	李宗兴	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	1	14	1.0	1.0