垂直喷淋式原子层沉积反应器设计及数值模拟

• 作者: 于海群 左然
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 垂直喷淋 ALD 扇形进口
• 年，卷（期）: 2011,（30）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 7334-7338,7343
• 分类号: O484.3
• 字数: 2923字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2011.30.003

摘要

提出垂直喷淋式原子层沉积(vertical showehead atom layer depositon reactor,VS-ALDR)反应器的概念.依据原子层沉积的基本原理,对VS-ALDR进行了四种形式的进口设计方案,分别为(1)无间隙扇形分隔进口设计；(2)带中心孔的无间隙扇形分隔进口设计；(3)间隙扇形分隔进口设计；(4)带中心孔的间隙扇形分隔进口设计.在fluent软件中对上述4种设计方案进行流场、温场以及浓度场模拟.根据模拟结果并应用传质理论,对VS-ALDR反应器中反应物浓度的分布进行分析和讨论.分析结果表明中心孔对于TMG和NH3的分隔作用明显.间隙扇形进口有利于TMG和NH3的分隔,并使得衬底处MO源和NH3的浓度集中在喷口下方,与分隔气体的互扩散减少.针对带中心孔的间隙扇形分隔进口反应器,讨论了不同的进口设计方案、高度、分隔气体扇形角、压强、衬底转速、流速以及不同的分隔气体对衬底处浓度分隔效果的影响.该研究结果适用于VS-ALDR输运过程及生长参数确定.为原子层沉积反应器的改进设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左然	江苏大学能源与动力工程学院	69	606	14.0	22.0
2	于海群	江苏大学能源与动力工程学院	16	158	8.0	12.0