表面层对1064nm高反射镜损伤阈值影响

• 作者: 丁涛 周刚 张锦龙 沈正祥 焦宏飞 程鑫彬 马彬 鲁江涛
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 表面层 激光损伤阈值 电场分布 薄膜吸收
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 977-980
• 分类号: O484.5
• 字数: 2509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112304.0977

摘要

采用电子束蒸发的方法制备了3种具有不同表面层材料及结构的中心波长为1064 nm的零度高反镜,3种膜系表面层分别为1/4波长光学厚度的HfO2,1/2波长光学厚度的SiO2,以及1/4波长光学厚度的SiO2.光谱测试表明:三者在1064 nm处均有较高的反射率(高于99.8%),利用热透镜的方法测量得到3个膜系辐照激光正入射情况下,薄膜对光的吸收比例分别为3.0×10-6,5.0×10-6和6.5×10-6,其损伤阈值分别为32.5,45.2和28.4 J/cm2.并在膜层内部电场分布和膜层材料物理特性的基础上分析了3种不同表面层膜系吸收和损伤阈值差别的原因.