针对多轴精密同步运动控制的并行计算架构设计

• 作者: 周云飞 程鑫
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 并行计算架构 精密 运动控制 同步
• 年，卷（期）: 2011,（18）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2156-2162
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文

摘要

针对光刻机工作台精密同步运动的需求，提出了一种适用于多轴精密同步运动控制的并行计算架构。介绍了运动控制系统的层次结构，自行定义内部总线协议，实现7块控制板卡间高性能数据传输，具有稳定的高带宽和纳秒级的传输延迟误差；根据工作台同步运动特征，设计并行计算周期规划和同步机制，实现分布式运行的多轴运动控制算法的严格同步。实验结果证明了并行计算架构的有效性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周云飞	华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室	140	2386	28.0	40.0