共光路径向剪切干涉仪的设计

• 作者: 何煦 马军
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 径向剪切干涉仪 波像差
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2029-2035
• 分类号: TH744.3
• 字数: 4165字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111909.2029

摘要

针对常规像移式干涉仪无法用于大口径、长光路光学系统波像差检测的工程问题,设计了共光路径向剪切干涉仪以消除采用标准波面所引入的系统误差.设计中采用由三角棱镜与斜方棱镜组合而成的胶合棱镜组作为波面剪切器件,将待测波面与其复制波面产生干涉,并通过一组有不同相对孔径的透镜切换装置来控制干涉仪剪切比.与4D动态干涉仪在不同条件下的比对试验数据表明,设计的剪切干涉仪的测试重复精度约为λ/80,实际测试精度RMS优于λ/20(λ=630 nm).这种设计极大地缩小了仪器外形尺寸与重量,提高了超长光路干涉检测的效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何煦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	165	6.0	12.0
5	马军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	71	550	13.0	20.0