可变载频径向剪切雅敏干涉仪

• 作者: 朱勇建 王宇 职亚楠 范玉峰 那景新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 雅敏干涉仪 径向剪切干涉仪 条纹图 非球面模具
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1176-1182
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2820字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142205.1176

摘要

基于雅敏干涉装置,提出一种新的可变载频(条纹频率可调)的径向剪切干涉仪.该干涉仪主体由两块雅敏干涉平板、两对可旋转双光楔、两个可变比例的扩束镜组成;双光楔用于调节条纹周期,以获取最佳干涉图;两扩束镜的扩束比例可变,以调节最佳剪切量.两块平板加工误差一致,同时所有光楔来源于同一楔板,参数一致,两扩束镜的性能参数也完全相同,光路对称,严格等光程.提出的干涉仪可一次性完成非球面模具的测量;并根据被测面形情况进行条纹周期和剪切量的调节,获得了最佳条纹图.最后,对球面/非球面模具表面进行了测试.结果显示:通过调节双光楔和扩束比,此干涉仪可获得较好的条纹图,为多种非球面模具的进一步高效检测提供了新的思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	职亚楠	中国科学院上海光学精密机械研究所	28	64	6.0	7.0
2	那景新	吉林大学汽车仿真与控制国家重点实验室	81	240	8.0	12.0
3	朱勇建	浙江科技学院机械与汽车工程学院	4	29	3.0	4.0
5	王宇	浙江科技学院机械与汽车工程学院	4	9	1.0	3.0
8	范玉峰	浙江科技学院机械与汽车工程学院	5	15	2.0	3.0