超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法

• 作者: 喻波 邓文渊 金春水 靳京城
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 原子力显微镜 超光滑基底 均方根粗糙度 采样条件 选点方案
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 235-240
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1108003

摘要

原子力显微镜(AFM)是评价亚纳米级表面粗糙度σRMs最主要的测试仪器,但其测试结果会因采样条件(采样间距、采样点数)及测量点位置变化而改变.以AFM测试超光滑光学基底随机表面为例,应用累积功率谱理论建立了确定合理采样条件的方法,避免了采样条件选取不当带来的数据丢失或冗余；通过全局优化选取测量点和局部优化选取测量点相结合,降低了样品表面区域性差异给测试结果带来的不确定性,并大大减少了获得可靠测试结果所需的测试量.上述工作为超光滑光学基底AFM测试提供了有效方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	56	202	9.0	11.0
2	靳京城	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	2	1.0	1.0
3	邓文渊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	187	7.0	13.0
4	喻波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	13	2.0	3.0