电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计

• 作者: 于晓梅 李博翰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 红外焦平面阵列 热机械灵敏度 热时间常数 噪声等效温差
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 762-767
• 分类号: TN215
• 字数: 3387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111904.0762

摘要

设计了一种长支腿式电容读出式红外焦平面阵列结构,并分析了这种像元结构的热导率、热机械灵敏度和热时间常数,从中优化出了该模型的部分结构参数,并以此为依据对像元整体尺寸进行了设计.在该尺寸模型下,得到的像元热导率为3×10-7W/K,热机械灵敏度为162 nm/K,热时间常数为35 ms,该热时间常数满足人眼识别频率的需要.讨论了焦平面阵列能够高灵敏度工作的关键参数-噪声等效温差,分析计算显示,得到噪声等效温差为6 mK.进行了仿真计算,得到的噪声等效温差为5 mK,与计算结果非常吻合.实验表明,该系统的噪声等效温差足够小,可满足稳定输出信号的需要.最后,基于牺牲层工艺制备了长支腿结构焦平面阵列,验证了制备工艺的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李博翰		1	2	1.0	1.0
2	于晓梅		1	2	1.0	1.0