音圈电机驱动的球面副支撑式快速控制反射镜设计

• 作者: 刘廷霞 徐新行 王兵 王恒坤 韩旭东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 快速控制反射镜 球面副支撑 直线位移传感器 音圈电机
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1320-1326
• 分类号: TH703
• 字数: 1774字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111906.1320

摘要

为了精确控制光束的传输方向,设计了一种以直线式音圈电机为驱动器的球面副支撑式快速控制反射镜(FSM).在明确所需FSM系统功能和设计要求的基础上,分别对其机械结构、平面反射镜、驱动元件以及角度测量元件进行了设计和选择.完成精密加工、装配、调试后,对FSM系统进行了实验测试分析.结果表明,该球面副刚性支撑式FSM系统结构简单,承载能力强,谐振频率约为120 Hz,反射镜稳定精度优于2″,且对振动、冲击、回转等动态工作环境具有较强的适应性,满足系统使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王兵	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	106	880	14.0	24.0
2	刘廷霞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	34	290	11.0	15.0
3	韩旭东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	21	302	10.0	17.0
4	王恒坤	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	93	6.0	9.0
5	徐新行	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	250	9.0	15.0