锗片的高速机械化学研磨工艺研究

• 作者: 刘建河 张心明 范景峰 黎塑飞
• 来源期刊: 机械研究与应用
• 关键词: 锗单晶片 研磨 固着磨料
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 应用与试验
• 页码范围: 98-99,102
• 分类号: TH11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4414.2011.05.035

摘要

利用机械化学研磨的原理对锗片进行高速研磨.以研磨压力、主轴转速、磨料成分和磨料粒度为影响材料的去除率和工件表面粗糙度的主要因素,进行对比性实验,通过实验分析研究确定了的锗片研磨加工工艺,加工后的锗片能够满足使用需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张心明	长春理工大学机电工程学院	74	324	10.0	14.0
2	刘建河	长春理工大学机电工程学院	19	112	6.0	10.0
3	范景峰	长春理工大学机电工程学院	5	22	2.0	4.0
4	黎塑飞	长春理工大学机电工程学院	1	2	1.0	1.0