纳米尺度金属薄膜在拉伸状态下的稳定性

• 作者: 何巍 李林安 王世斌 贾海坤 郭振山 门玉涛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米薄膜 金属薄膜 分叉 断裂 拉伸 微机电系统
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 光学精密工程暨纳米科技国际研讨会论文
• 页码范围: 2293-2299
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111909.2293

摘要

将薄膜和基底作为一个基本结构来研究薄膜的变形和损坏可预测纳米薄膜器件的使用寿命.本文讨论和研究了薄膜基底结构在拉伸载荷下薄膜出现的分叉和断裂的过程.用在相同厚度的PET基底上沉积不同厚度铝膜的薄膜基底结构作为试件,分别对薄膜厚度为100,150和200 nm的3种不同试件进行了拉伸加载实验,并在OLYMPUS显微镜下观察了薄膜表面的变化情况.分析和对比结果表明:随着薄膜厚度的增加,薄膜出现分叉现象的失效应变也随着增大；当薄膜表面出现裂纹时,裂纹密度的大小取决于薄膜的厚度和加载应变的大小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王世斌	天津大学力学系	93	345	10.0	15.0
2	李林安	天津大学力学系	68	430	10.0	18.0
3	贾海坤	天津大学力学系	3	10	2.0	3.0
4	门玉涛	天津大学力学系	5	13	3.0	3.0
5	何巍	天津大学力学系	4	12	2.0	3.0
6	郭振山	天津大学力学系	1	4	1.0	1.0