基于垂直扫描的精密三维工作台及应用

• 作者: 王生怀 陈育荣 黎新
• 来源期刊: 自动化与仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 三维精密工作台 垂直扫描 表面形貌测量 压电陶瓷驱动器
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 96-97,100
• 分类号: TH39
• 字数: 2347字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9227.2011.06.038

摘要

介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,它由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成.垂直扫描工作台放置在X-Y二维工作台上方.当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的精确定位.衍射光栅位移传感器用于探测垂直扫描工作台的垂直位移量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王生怀	湖北汽车工业学院机械工程系	43	105	6.0	8.0
2	陈育荣	湖北汽车工业学院机械工程系	32	113	5.0	9.0
3	黎新	湖北汽车工业学院机械工程系	13	18	3.0	3.0