三维触发式坐标测量机测头误差分析与性能实验

• 作者: 丁邦宙 刘芳芳 夏豪杰 费业泰
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 坐标测量机 光纤布拉格光栅 触发式测头 误差源分析
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论研究
• 页码范围: 228-230,213
• 分类号: TB96
• 字数: 2385字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2011.11.042

摘要

阐述了基于光纤布拉格光栅原理的三维触发式坐标测量机测头传感系统及控制箱设计方法,从机械结构、传感信号解调系统以及测量过程中逼近速度和逼近距离等几个角度分析了测头误差来源.根据测头的设计参数要求进行了测头的灵敏度、复位性和测力等性能实验,结果表明该测头单方向重复定位精度为20 nm,灵敏度为50 nm,测量力小于5 mN.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁邦宙	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	5	22	3.0	4.0
2	费业泰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	222	2927	27.0	41.0
3	刘芳芳	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	29	169	7.0	12.0
4	夏豪杰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	22	111	7.0	10.0