串联光伏电池非晶硅薄膜的Nd3+∶YAG激光辅助掺杂与同时毛化

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光辅助掺杂 掺杂 毛化 Sb 光伏电池 Nd3+∶ YAG纳秒激光
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 光学精密工程暨纳米科技国际研讨会论文
• 页码范围: 2263-2270
• 分类号: TN304.055|TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111909.2263

摘要

对结合激光辅助掺杂和毛化方法合成的光伏电池用Sb掺杂非晶硅薄膜进行了研究.首先,用阈值通量为460mJ/cm2的激光照射镀有200～300 nm厚Sb的非晶硅薄膜进行施主扩散.为激活施主,样品用230mJ/cm2的低激光通量再一次进行处理.进行施主激光扩散和活化时,激光光斑的重叠度达到光斑大小的90％,因此随后诱发了薄膜表面的毛化.多晶毛化峰由扫描电子显微镜、喇曼光谱、原子力显微镜等多种表征手段进行了验证,处理后的样品其正面和背面的拉曼光谱均出现了521 cm-1的晶体峰值.样品的n型特征得到了Hall效应测试的证实,同时证明了掺杂的有效性.表面毛化粗糙度达到450 nm,并且观测到了光电导和吸收光谱的增强,这些均证实了样品光伏性质的改善.