“Isara400”超精密坐标测量机的设计与标定

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米技术 坐标测量机 接触探针 标定
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 光学精密工程暨纳米科技国际研讨会论文
• 页码范围: 2236-2241
• 分类号: TH72
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111909.2236

摘要

介绍了Isara 400 3维超精坐标测量机标定的关键技术,包括平台标定和系统镜面台非垂直度标定.同时,提出了一种新的超精接触探针系统,给出了这种3维灵敏度探针的标定结果.