干涉条纹空间频率对数字叠栅移相干涉测量精度的影响

• 作者: 孟晓辰 朱秋东 胡摇 郝群
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 数字叠栅移相干涉 空间频率 相位测量精度 信噪比
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 198-203
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1|TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1008008

摘要

基于数字叠栅移相干涉原理,分析了CCD像元尺寸、随机噪声和量化误差对采样后干涉条纹和合成叠栅条纹对比度的影响,并就干涉条纹频率对叠栅移相干涉相位测量精度的影响进行了理论分析和仿真研究.结果表明,随着干涉条纹空间频率的增大,CCD的采样过程、随机噪声和量化噪声会影响叠栅条纹信号的对比度和信噪比,并通过相位解算过程直接影响数字叠栅移相干涉的相位测量精度.以相位测量精度为7π/50(折合光程差精度为λ/100)作为判断标准,对应可探测干涉条纹的最大空间频率为0.45 λ/pixel,为后续数字叠栅移相干涉测量范围的研究提供了定量理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝群		90	760	14.0	24.0
2	朱秋东		27	177	8.0	12.0
3	胡摇		15	30	4.0	4.0
4	孟晓辰		3	5	1.0	2.0