SECS/GEM标准模型分析及应用

• 作者: 张红雨 张鹏程 陈杨
• 来源期刊: 电子设计工程
• 学科: 工学
• 关键词: SECS/GEM协议 HSMS协议 半导体通讯标准 半导体设备控制
• 年，卷（期）: 2011,（14）
• 所属期刊栏目: 计算机技术与应用
• 页码范围: 23-26
• 分类号: TP29
• 字数: 3620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-6236.2011.14.009

摘要

SECS/GEM是半导体自动化生产中广泛采用的一个行业标准。首先介绍了SECS/GEM标准的整体框架,并分析了其行业发展状况,然后依次说明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各个分层标准的数据报文格式、传输控制模型、状态转换模型以及相互间的通信控制方式等,最后分析了该标准在我国半导体自动化生产中的应用状况。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面广,在我国半导体工业中应用前景广阔。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红雨	电子科技大学电子工程学院	63	729	13.0	24.0
2	张鹏程	电子科技大学电子工程学院	8	47	4.0	6.0
3	陈杨	电子科技大学电子工程学院	4	29	3.0	4.0