KBAX射线显微镜分辨力模型

• 作者: 孙德林 王刚 胡家升 赵玲玲
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线成像 KBA显微镜 掠入射反射成像系统 消像散系统
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2668-2672
• 分类号: O434.19
• 字数: 3529字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112310.2668

摘要

综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对KBAX射线显微镜分辨力的影响,构建了分辨力模型.通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20％～80％的评价标准确定了几何像差分辨力.由构建的空间分辨力模型得到理论分辨力.KBA X射线显微镜整个视场几何像差分辨力、理论分辨力和实测分辨力基本一致.用单层膜KBA显微镜获得的X射线成像结果,得出中心视场的分辨力约为4μm,±100 μm视场的分辨力优于5μm.实验结果表明,几何像差对空间分辨力影响权重相对较大,是影响空间分辨力的决定性因素,其它因素的影响相对较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玲玲	鲁东大学物理与电子工程学院	13	47	3.0	6.0
2	王刚	鲁东大学物理与电子工程学院	25	190	8.0	13.0
3	胡家升	大连理工大学电子与信息工程学院	65	797	16.0	24.0
4	孙德林	鲁东大学交通学院	9	14	2.0	2.0