软X射线KBA显微镜分辨力及其影响因素

• 作者: 曹柱荣 董建军 黎宇坤
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: KBA显微镜 分辨力 几何像差 衍射效应 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1098-1102
• 分类号: O434.1
• 字数: 3011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122405.1098

摘要

为了对KBA显微镜的分辨能力进行准确计算,对KBA显微镜的分辨力和影响因素进行了研究,分析了衍射效应、几何像差,面形误差和粗糙度等因素对分辨力的影响,以此为基础建立了KBA显微镜的分辨力计算模型,并模拟了KBA显微镜的分辨力与视场的关系.用KBA显微镜获得了2.5keV能量的X射线成像结果,中心视场范围的分辨力约为6μm.通过实验结果与模型模拟的对比,可得建立的模型对KBA显微镜分辨力与视场尺寸的关系的描述与实际测试的结果基本符合,并对不完善之处进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹柱荣	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	28	81	5.0	6.0
2	董建军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	18	77	5.0	7.0
3	黎宇坤	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	22	3.0	4.0