ZnO/TiO2复合薄膜的表面形貌分析及光散射特性研究

• 作者: 刘晔 崔骥 李永强 李相银 王清华 蒋立勇 贺安之
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 表面形貌 分形理论 光散射特性
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 185-191
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.0207002

摘要

采用离子源辅助电子束蒸发的方法,制备了以Si为基底.以TiO2为缓冲层的ZnO薄膜.通过进一步保温处理,在不同温度条件下进行退火处理得到了不同的样品薄膜,用于表面形貌分析和光散射特性实验研究.结果表明,退火温度对样品表面粗糙度、晶粒大小、分形维数等参数具有显著的影响,通过表面形貌分析有助于更好地理解薄膜晶粒生长机制和改进薄膜制备工艺;不同薄膜样品的反射光强度和偏振度对不同偏振光具有不同的角度响应特征,且与薄膜表面统计特性具有一定的关联性,薄膜的光散射特性研究对研究弱散射随机粗糙表面的退偏作用具有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺安之		137	1240	18.0	26.0
2	李相银		49	243	9.0	11.0
3	崔骥		13	137	4.0	11.0
4	王清华		17	105	6.0	10.0
5	蒋立勇		9	27	3.0	4.0
6	李永强		2	1	1.0	1.0
7	刘晔		1	0	0.0	0.0