实用型放电泵浦XeF(B-X)准分子激光器

• 作者: 余吟山 方晓东 李会 梁勖 游利兵 王庆胜 王效顺
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光器 XeF 开关电源 i线 印刷电路板
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 1143-1146
• 分类号: TN248.2
• 字数: 2216字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112305.1143

摘要

研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光器输出参数:单脉冲能量153 mJ,平均功率12.9 W,转换效率最高达到0.88%,重复频率1～80 Hz,能量不稳定度小于4%,近场光斑尺寸7 mm×22 mm.激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统的实验中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余吟山	中国科学院安徽光学精密机械研究所	29	165	9.0	11.0
2	方晓东	中国科学院安徽光学精密机械研究所	73	301	9.0	13.0
3	游利兵	中国科学院安徽光学精密机械研究所	26	135	8.0	10.0
4	梁勖	中国科学院安徽光学精密机械研究所	27	113	6.0	9.0
5	李会	中国科学院安徽光学精密机械研究所	6	19	3.0	4.0
6	王庆胜	中国科学院安徽光学精密机械研究所	10	44	5.0	6.0
7	王效顺	中国科学院安徽光学精密机械研究所	4	23	3.0	4.0