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摘要:
利用一维流体模型研究了放电泵浦ArF准分子激光动力学过程,得到气体放电过程中放电电路的电流电压波形,得到了电子密度、光子密度、电场的时空分布特性,分析了放电参数对激光输出的影响.结果表明,电路参数、工作气压、氟气比例均对激光输出有显著影响,放电电路中的电感值对输出影响较小,参数范围较广,而电路中较小的峰化电容值有利于获得长脉冲输出,气压太大或太小都会使输出能量降低,同样,氟气比例太大或太小也会使输出能量降低.
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准分子激光
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文献信息
篇名 放电泵浦ArF准分子激光动力学模拟与参数分析
来源期刊 强激光与粒子束 学科 工学
关键词 ArF准分子激光 流体模型 放电电路 电子密度 光子密度
年,卷(期) 2015,(8) 所属期刊栏目 高功率激光与光学
研究方向 页码范围 29-34
页数 6页 分类号 TN248.2
字数 2089字 语种 中文
DOI 10.11884/HPLPB201527.081006
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 左都罗 华中科技大学武汉光电国家实验室 47 184 7.0 10.0
2 王新兵 华中科技大学武汉光电国家实验室 55 348 10.0 16.0
3 罗时文 华中科技大学武汉光电国家实验室 3 1 1.0 1.0
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放电电路
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强激光与粒子束
月刊
1001-4322
51-1311/O4
大16开
四川绵阳919-805信箱
62-76
1989
chi
出版文献量(篇)
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7
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61664
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