高厚度薄膜-泡沫平面调制靶的飞秒激光微加工

• 作者: 尹强 巫殷忠 张林 谷渝秋 黄燕华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 微细加工 流体力学 高厚度 切割
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 685-688
• 分类号: TN249
• 字数: 2241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112303.0685

摘要

利用数值孔径为0.14的显微物镜聚焦中心波长800 nm、脉宽120 fs、重复频率1 kHz的飞秒激光,采用焦点逐线扫描等距下移方式,选取的入射平均功率为30 mW,加工速度为300 μm/s,对瑞利-泰勒(R-T)不稳定性实验靶用的厚度1.5 mm聚苯乙烯(PS)薄膜-聚4-甲基-1-戊烯(PMP)泡沫双层复合长条块体样品进行精确切割成型,并与纳秒激光切割情形对比.结果表明:利用飞秒激光微加工有效控制了切割区变形和材料分层,获得了整齐的切割边缘和平坦的切割面,样品最大切割深度超过800μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	233	1406	18.0	25.0
2	谷渝秋	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	52	137	6.0	9.0
3	尹强	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	24	93	5.0	8.0
4	黄燕华	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	25	118	6.0	9.0
5	巫殷忠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	2	1.0	1.0