折叠式MEMS弹簧弹性系数研究与有限元分析

• 作者: 吴鹏飞 张国俊 戴丽萍 王姝娅 钟志亲
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(Micro Mechanit Electronic System,MEMS) 折叠弹簧 弹性系数 有限元分析
• 年，卷（期）: 2011,（28）
• 所属期刊栏目: 仪表技术
• 页码范围: 6832-6835,6841
• 分类号: TH703.1
• 字数: 1590字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2011.28.011

摘要

用卡氏第二定律和胡克定律推导出折叠式MEMS弹簧弹性系数的计算公式.ANSYS的仿真结果表明两者的相对误差低于1％.在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数的影响规律.最后对设计的弹簧质量块系统分别进行了模态分析和谐波响应分析.分析结果和理论一致.研究结果为其他结构的MEMS弹簧的分析和设计提供了一定的借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴鹏飞	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	20	3.0	4.0
2	张国俊	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	57	231	8.0	11.0
3	戴丽萍	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	16	54	5.0	6.0
4	钟志亲	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	12	38	4.0	5.0
5	王姝娅	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	14	45	4.0	6.0