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摘要:
用卡氏第二定律和胡克定律推导出折叠式MEMS弹簧弹性系数的计算公式.ANSYS的仿真结果表明两者的相对误差低于1%.在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数的影响规律.最后对设计的弹簧质量块系统分别进行了模态分析和谐波响应分析.分析结果和理论一致.研究结果为其他结构的MEMS弹簧的分析和设计提供了一定的借鉴.
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文献信息
篇名 折叠式MEMS弹簧弹性系数研究与有限元分析
来源期刊 科学技术与工程 学科 工学
关键词 微机电系统(Micro Mechanit Electronic System,MEMS) 折叠弹簧 弹性系数 有限元分析
年,卷(期) 2011,(28) 所属期刊栏目 仪表技术
研究方向 页码范围 6832-6835,6841
页数 分类号 TH703.1
字数 1590字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1671-1815.2011.28.011
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 吴鹏飞 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 4 20 3.0 4.0
2 张国俊 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 57 231 8.0 11.0
3 戴丽萍 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 16 54 5.0 6.0
4 钟志亲 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 12 38 4.0 5.0
5 王姝娅 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 14 45 4.0 6.0
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研究主题发展历程
节点文献
微机电系统(Micro Mechanit Electronic System,MEMS)
折叠弹簧
弹性系数
有限元分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科学技术与工程
旬刊
1671-1815
11-4688/T
大16开
北京市海淀区学院南路86号
2-734
2001
chi
出版文献量(篇)
30642
总下载数(次)
83
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113906
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