大气压Ar射频容性放电模式转变的温度表征

• 作者: 刘莉莹 张家良 王德真 郭卿超
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 大气压等离子体 放电模式 转动温度
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 452-459
• 分类号: O53
• 语种: 中文

摘要

在大气压条件下Ar气流中实现了容性射频放电α和γ两种模式及其转变与共存.由于放电处于开放大气环境中,放电发射光谱中清晰地存在N2CΠu→B3Πg跃迁产生的第二正带和OH自由基A2Σ→X2Π跃迁的(0,0)带光谱.为了获得放电区域的宏观温度,针对氮的第二正带(0,1),(1,2)两个谱带,自编了拟合程序,用温度拟合方法获得了氮分子的转动温度和振动温度,研究了转动温度随放电功率的变化趋势,得到了温度突变与放电模式转变的相关性.利用Lifbase的发射光谱模拟功能,进行了OH自由基A2Σ→X2Π(0,0)带光谱的模拟,通过与实验光谱对比,得到了与N2光谱拟合结果相符的OH转动温度,以及相似的随放电功率的变化趋势,这说明放电空间内的中性物种达到了热平衡状态.根据放电伏安特性变化,放电模式转变对应的转动温度变化趋势得到确认,并且与放电形态的照片符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张家良	大连理工大学物理与光电工程学院	33	282	9.0	16.0
2	王德真	大连理工大学物理与光电工程学院	44	399	13.0	18.0
3	刘莉莹	大连理工大学物理与光电工程学院	5	20	3.0	4.0
4	郭卿超	大连理工大学物理与光电工程学院	2	6	2.0	2.0