大气压He-Ar射频容性放电Ar亚稳态粒子数密度

• 作者: 何永乐 左都罗 王新兵 高俊
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 光泵惰性气体亚稳态激光器 大气压He-Ar射频放电 氩亚稳态1s5粒子数密度
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: O461.2
• 字数: 2549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201729.160465

摘要

利用发射光谱法测量大气压He-Ar混合气体射频容性放电中的Ar亚稳态1s5(3s23p54s[3/2]2)粒子数密度.在不同的放电功率和气体组分下测量放电等离子体中的重要参数:气体转动温度、电子激发温度和Ar亚稳态1s5粒子数密度.结果表明:气体温度在不同放电功率及Ar气压在5×103 Pa以内时变化不大,范围为300～350 K;电子激发温度随着放电功率的增加而增加,并且在Ar气压为4×103 Pa时最大,在放电功率为70 W时达到0.58 eV;1s5粒子数密度随着放电功率以及电子激发温度的增加而增加,在放电功率为70 W、Ar气压为4×103 Pa时达到1.53×109 cm-3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左都罗	华中科技大学武汉光电国家实验室	47	184	7.0	10.0
2	高俊	华中科技大学武汉光电国家实验室	25	214	7.0	13.0
3	王新兵	华中科技大学武汉光电国家实验室	55	348	10.0	16.0
4	何永乐	华中科技大学武汉光电国家实验室	1	4	1.0	1.0