基准圆光栅偏心检测及测角误差补偿

• 作者: 叶平 孙汉旭 张延恒 艾晨光 褚明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 角度测量 圆光栅 系统误差补偿 偏心距检测 偏心方向检测
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2479-2484
• 分类号: TB922|O436.1
• 字数: 2908字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122011.2479

摘要

为了修正关节测试平台中由圆光栅安装偏心所产生的测量误差,建立了圆光栅偏心测角误差补偿模型并对安装偏心检测方法进行研究.首先,根据圆光栅测角与偏心参数间的几何关系,推导出圆光栅测量误差补偿模型.然后,描述了采用双读数头对比接收正弦信号间相位差,检测偏心参数的方法和原理;通过合成信号的李萨茹图形,检测出关节测试平台内圆光栅的偏心距及偏心方向.最后,根据所推导的偏心测角误差补偿公式对测试系统进行修正.对比实验结果表明:修正后的圆光栅测角精度大幅提高,测量精度提高了近5倍,满足关节测试平台的测量精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙汉旭	北京邮电大学自动化学院	238	2284	21.0	35.0
2	叶平	北京邮电大学自动化学院	24	219	8.0	14.0
3	张延恒	北京邮电大学自动化学院	24	227	9.0	14.0
4	褚明	北京邮电大学自动化学院	17	197	8.0	13.0
5	艾晨光	北京邮电大学自动化学院	3	87	3.0	3.0