Plasma Diagnosis for Microwave ECR Plasma Enhanced Sputtering Deposition of DLC Films

庞见华; 徐军; 王行行; 贺佳; 辛煜; 陆文琪

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Plasma Diagnosis for Microwave ECR Plasma Enhanced Sputtering Deposition of DLC Films

Plasma Diagnosis for Microwave ECR Plasma Enhanced Sputtering Deposition of DLC Films

作者：

庞见华徐军王行行贺佳辛煜陆文琪

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DLC薄膜

等离子体增强

溅射沉积

等离子体诊断

ECR

微波

Langmuir探针

等离子体环境

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文献信息

篇名	Plasma Diagnosis for Microwave ECR Plasma Enhanced Sputtering Deposition of DLC Films
来源期刊	等离子体科学和技术：英文版	学科	工学
关键词	DLC薄膜等离子体增强溅射沉积等离子体诊断 ECR 微波 Langmuir探针等离子体环境
年，卷（期）	2012,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	172-176
页数		分类号	O484\|TN304.12
字数		语种	英文
DOI

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