双层辉光离子渗金属技术沉积氮化钛薄膜的微观结构研究

• 作者: 何翔 孙奉娄 陈首部 韦世良
• 来源期刊: 中南民族大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 双层辉光离子渗金属技术 氮化钛薄膜 微观结构
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 66-70
• 页数: 5页
• 分类号: TG156.8
• 字数: 3587字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4321.2012.01.017

摘要

采用双层辉光离子渗金属技术,在硬质合金基体表面上制备了氮化钛（TiN）薄膜,通过微观结构和显微硬度分析,研究了基体温度对TiN薄膜性能的影响.实验结果表明：所有TiN样品均具有面心立方结构,并且薄膜生长的择优取向、晶粒尺寸、晶面间距、晶格常数和微观硬度等都与基体温度密切相关.当基体温度为650～780℃时,TiN薄膜具有最小的晶粒尺寸（26.9 nm）和最大的显微硬度（2204 HV）.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙奉娄	中南民族大学电子信息工程学院	76	434	13.0	15.0
2	何翔	中南民族大学电子信息工程学院	62	386	11.0	15.0
3	陈首部	中南民族大学电子信息工程学院	30	137	7.0	10.0
4	韦世良	中南民族大学电子信息工程学院	6	37	3.0	6.0