主动减振系统技术在纳米加工设备上的应用及发展

• 作者: 袁志扬
• 来源期刊: 精密制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 主动减振 隔振 光刻机 负刚度
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 报道与评述
• 页码范围: 9-12
• 分类号: TU274.9
• 字数: 2750字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-962X.2012.03.003

摘要

通过对以光刻机为代表的纳米加工设备主动减振系统技术的介绍,阐述了主动减振系统技术在纳米加工设备上的应用及发展方向.随着纳米加工设备的精度不断逼近极限,设备内部残余振动的要求也迅速提高,这就推动了纳米加工设备减振构架和主动减振技术的不断发展.为此,纳米加工设备的减振系统经历了从被动到主动,从正刚度到负刚度,从一体到分体的技术发展过程.通过对下一代纳米加工设备的展望,以及对减振系统的技术延展性评估,指出分体式负刚度主动减振系统技术是未来以EUV光刻机为代表的纳米加工设备减振技术的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁志扬	上海理工大学机械工程学院	1	7	1.0	1.0