铌酸锂光波导制作工艺进展

• 作者: 王定理 赵明璐 马卫东
• 来源期刊: 光通信研究
• 学科: 工学
• 关键词: 铌酸锂 光波导 工艺
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件研究与应用
• 页码范围: 35-38
• 分类号: TN252
• 字数: 2743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-8788.2012.02.012

摘要

文章综述了几种常用的铌酸锂波导的制作工艺,包括表面外扩散、金属内扩散、离子交换和质子交换,并分析、比较和总结了在不同工艺制作的条件下对铌酸锂光波导的性能造成的不同影响.目前,获得高质量光波导的主要途径是Ti扩散和质子交换.同时,文章对逐渐建立起的铌酸锂波导光学特性和结构特性之间的理论关系也进行了介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马卫东		7	18	3.0	4.0
5	王定理		7	40	4.0	6.0
7	赵明璐		1	9	1.0	1.0