材料专业仪器介绍

• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 仪器介绍 材料专业 超高分辨率 EXTREME 扫描电镜 SEM XHR 产品名称
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 99-108
• 页数: 10页
• 分类号: TP334.83

摘要

产品名称：MagellanTM HR SEM 生产单位：FEI COMPANY 型号：MagellanTM XHR 400 SEM 产品特点：MagellanTM XHR 400 SEM是世界上第一款在1kv-30kv范围内都具有小于lnm分辨率的扫描电镜。它首创了所谓的超高分辨率扫描电镜（XHR SEM：Extreme high resolution SEM）。它在超低电压下所具有的超高分辨率这一卓越性能使它能提供其它技术所不能提供的特定的表面信息。