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摘要:
台积电近日正在加快28纳米以下制程布建步伐,位于中科园区的晶圆15厂第三暨第四期厂房,将同时兴建,预计2013年完工,这二座新厂,未来将成为台积电跨足20纳米制程主要生产重心。
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电积液纯度
工艺参数
系统电能损耗
新液底流
添加剂
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 台积电积极布局28纳米制程
来源期刊 中国集成电路 学科 工学
关键词 纳米制程 电积 台积电 晶圆
年,卷(期) 2012,(1) 所属期刊栏目 业界要闻
研究方向 页码范围 9-9
页数 分类号 TN305
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
纳米制程
电积
台积电
晶圆
研究起点
研究来源
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相关学者/机构
期刊影响力
中国集成电路
月刊
1681-5289
11-5209/TN
大16开
北京朝阳区将台西路18号5号楼816室
1994
chi
出版文献量(篇)
4772
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6
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