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Fabrication of High Aspect Ratio Sub-100 nm Patterns in Fused Silica
Fabrication of High Aspect Ratio Sub-100 nm Patterns in Fused Silica
作者:
J. Zajadacz, R. Fechner K. Zimmer
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
熔融石英
高宽比
制造
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篇名
Fabrication of High Aspect Ratio Sub-100 nm Patterns in Fused Silica
来源期刊
材料科学与工程:中英文A版
学科
工学
关键词
熔融石英
高宽比
制造
纳米结构
透明材料
气体混合物
金属膜
生命科学
年,卷(期)
clkxygczy-a_2012,(5)
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458-462
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5页
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TN405.98
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材料科学与工程:中英文A版
主办单位:
美国大卫出版公司
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季刊
ISSN:
2161-6213
CN:
开本:
出版地:
武汉洪山区卓刀泉北路金桥花园C座4楼
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创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
972
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