基于全石英结构非本征型温度不敏感的光纤压力传感器

• 作者: 于清旭 周新磊 姜心声 李芳 王文华
• 来源期刊: 新型工业化
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤光学 光纤压力传感器 膜片 高灵敏度 温度不敏感
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 研制与开发
• 页码范围: 44-49
• 页数: 6页
• 分类号: TN253
• 字数: 366字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种基于全石英结构的非本征F-P光纤干涉压力传感器，该传感器具有很高的压力灵敏特性。压力灵敏度为5.18nm/KPa (0.75nm/psi)，分辨率为38Pa (0.005psi)。由于激光加工的过程中在光纤与石英毛细管之间保留了通风孔，所有该传感器具有极低的温度敏感特性，约0.011nm/℃，与此相应的压力测量误差是0.021KPa/℃(0.003psi/℃)。由于通风孔的存在，传感器的工作点也不会随着背景压力的变化而漂移。因此，该传感器适用于液位测量、环境监测以及其他恶劣环境的工业应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于清旭	大连理工大学物理与光电工程学院	59	689	16.0	23.0
2	李芳	大连理工大学物理与光电工程学院	11	116	6.0	10.0
3	王文华	大连理工大学物理与光电工程学院	42	362	8.0	18.0
4	周新磊	大连理工大学物理与光电工程学院	8	13	3.0	3.0
5	姜心声		1	5	1.0	1.0