钨粉颗粒级配对氧化铝陶瓷金属化方阻的影响

• 作者: 何新波 吴茂 曲选辉 曹车正 赵聪 陈晓伟
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 钨金属化 表面方阻 Dinger-Funk公式 颗粒级配
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 579-585
• 页数: 7页
• 分类号: TN452
• 语种: 中文

摘要

选取3种平均粒径分别为0.2、0.5和1μm的钨粉,将任意2种钨粉按一定的质量比混合后与氧化铝陶瓷共烧,得到氧化铝陶瓷的金属化层,研究钨粉颗粒级配对氧化铝陶瓷金属化方阻的影响.结果表明,钨金属化层的方阻与其烧结致密化程度直接相关,钨金属化层越致密,其表面方阻越低.单独使用其中1种粒度的钨粉与氧化铝陶瓷共烧时,金属化方阻较高.将0.5 μm和1 μm钨粉混合能显著降低方阻,当两者质量比为45:55时得到的金属化方阻最小(12.10 mΩ/□).混合钨粉的累积分布曲线符合Dinger-Funk粉体堆积公式,分布模数n越接近0.37,其烧结致密化程度越高,金属化方阻越低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲选辉	北京科技大学新金属材料国家重点实验室	389	3554	28.0	36.0
2	何新波	北京科技大学新金属材料国家重点实验室	119	940	16.0	22.0
3	吴茂	北京科技大学新金属材料国家重点实验室	21	130	7.0	10.0
4	陈晓伟		1	7	1.0	1.0
5	曹车正	北京科技大学新金属材料国家重点实验室	2	30	2.0	2.0
6	赵聪		1	7	1.0	1.0