极坐标系统下进行直角坐标扫描的离子束抛光

• 作者: 成贤锴 郭伟远
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束抛光 极坐标系统 扫描方式 计算机控制光学表面成形
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 光学器件与制造
• 页码范围: 164-169
• 分类号: TN205
• 字数: 1629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201233.0105003

摘要

在离子束抛光设备研制过程中,离子源扫描运动方式的选择是很关键的,一般分为直角坐标方式扫描和极坐标方式扫描两种.根据两种扫描方式的特点,在极坐标系统下进行直角坐标扫描方式加工.该种方法采用直角坐标扫描方式下的驻留时间计算,算法相对简单.该种方法在极坐标系统下进行加工,同等情况下可加工圆形镜面的口径比直角坐标系统下更大些；而且离子源的可移动区域是一条直线,其余地方可以摆放其他设备,空间利用率较高.对这种新思路进行仿真分析,证实了其具有可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭伟远	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	5	18	3.0	4.0
5	成贤锴	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	15	58	4.0	7.0