一种低温共烧压电陶瓷的制备

• 作者: 杨颖 王一平 陈吉 陈静 顾新云
• 来源期刊: 中国材料进展
• 学科: 工学
• 关键词: 低温共烧陶瓷(LTCC) 压电陶瓷 多层膜
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 铁性智能材料专栏（II）
• 页码范围: 30-33,25
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.758
• 字数: 4643字
• 语种: 中文

摘要

压电陶瓷多层膜的低温共烧特性及压电性能密切依赖于其成分。采用调节压电材料成分，以0．90Pb（zr048Ti0.52）03—0．05Pb（Mnl／3Sb2／3）03-0．05Pb（Zn1/3Nb2／3）03四元体系为研究对象，同时添加烧结助剂CuO来实现多层膜的低温烧结。对多层膜的流延、排胶、烧结、极化等工艺进行探索以优化工艺参数，最终获得850oC烧结温度下的高致密度多层压电陶瓷。压电性能的测试表明三层结构的压电多层膜陶瓷表观d33达873pC／N，远高于同成分单层陶瓷306pC／N的d33值。采用多普勒激光测振仪进行扫频实验，测定了多层陶瓷纵向振动速度的频谱，确定了基于该多层膜压电振子的最优谐振频率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨颖	南京航空航天大学航天工程学院机械结构力学及控制国家重点实验室	19	57	4.0	6.0
2	陈静	南京航空航天大学航天工程学院机械结构力学及控制国家重点实验室	16	32	2.0	5.0
3	王一平	南京航空航天大学航天工程学院机械结构力学及控制国家重点实验室	4	1	1.0	1.0
4	陈吉	南京航空航天大学航天工程学院机械结构力学及控制国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
5	顾新云	南京航空航天大学航天工程学院机械结构力学及控制国家重点实验室	1	0	0.0	0.0