Shack-Hartmann波前传感器在光学检验中的应用

• 作者: 刘欣悦 卫沛峰 孟浩然 明名 李宏壮 王志臣
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: Shack-Hartmann波前传感器 面形检测 波像差检测 光学检验
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 134-138
• 分类号: TN206|TH751
• 字数: 1748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201233.0103007

摘要

介绍用于光学检测的Shack-Hartmann(S-H)波前传感器,以及相应的检测实验结果.在实验室内,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出传感器的测量精度优于λ/50 RMS(λ=632.8 nm).在外场利用星光作为光源,对口径1 m、焦距11m的望远镜进行了系统波像差检验,测量结果为0.39λ～0.46λRMS之间,并随着俯仰角的增加而增大,主要像差形式为三阶像散.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟浩然	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	29	293	10.0	16.0
2	明名	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	281	9.0	15.0
3	李宏壮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	251	9.0	13.0
4	王志臣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	75	6.0	7.0
5	刘欣悦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	55	475	12.0	19.0
6	卫沛峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	27	2.0	3.0