Shack-Hartmann波前传感器检测大口径圆对称非球面反射镜

• 作者: 张学军 张忠玉 张金平 郑立功
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: Shack-Hartmann波前传感器 轮廓仪 非球面反射镜 大口径反射镜 相对测量
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 492-498
• 分类号: TQ171.65|O439
• 字数: 2748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122003.0492

摘要

针对大口径非球面反射镜在研磨阶段后期其面形与理想面形存在较大偏差,且表面粗糙度较大、反射率较低,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足测试要求等问题,提出采用动态范围大且精度高的Shack-Hartmann波前传感器来检测大口径非球面反射镜.研究分析了Shack-Hartmann波前传感器检测系统的原理及系统误差并编写了相应的数据处理软件.为了验证该方法的可行性,对已经加工完成的350 mm口径旋转对称双曲面面形进行了检测,测量得到的面形误差PV值、RMS值分别为0.388λ、0.043λ(λ=632.8 nm)；与干涉测量的标准结果进行了对比,得到的面形偏差PV值、RMS值分别为0.014λ和0.001λ.对比结果表明,Shack-Hartmann波前传感器的测量结果正确可靠,从而验证了Shack-Hartmann波前传感器检测大口径非球面反射镜的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	124	1634	25.0	33.0
2	郑立功	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	39	386	12.0	19.0
3	张金平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	36	302	11.0	16.0
7	张忠玉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	23	386	11.0	19.0