真空感应熔炼工艺在太阳能级多晶硅制备中的应用探索

• 作者: 施翔 范占军
• 来源期刊: 宁夏工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能级多晶硅 冶金物理法 真空感应熔炼
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 新材料、新工艺、新技术研究与应用
• 页码范围: 345-347,350
• 页数: 4页
• 分类号: TF133
• 字数: 1704字
• 语种: 中文

摘要

为了探讨真空感应熔炼工艺在冶金物理法制备太阳能级多晶硅生产中的应用效果，利用真空熔炼设备，对硅料在不同真空度条件下进行制备试验，对比试验前后原料和成品中的P元素以及几种金属元素的化验结果可知，在冶金物理法制备太阳能级多晶硅中真空感应熔炼工艺完全可以起到降低杂质含量，提高硅晶体纯度的作用．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施翔		1	1	1.0	1.0
2	范占军		1	1	1.0	1.0