化学溶液沉积法制备Pb0.5Ba0.5TiO3薄膜的结构及电学性能研究

• 作者: 刘为方 朱贵文 陈如麒
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 钛酸铅钡 PBT 介电 铁电 化学溶液沉积法
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 78-81
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2558字
• 语种: 中文

摘要

采用化学溶液沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备钛酸铅钡Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)薄膜.薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成.此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕.薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为17 nm.在700℃ lh退火的薄膜有良好的电学特性,在1 kHz频率下测量得到的介电常数、损耗因子分别约为265和5％;此外,在500 kV/cm电场驱动下,薄膜得到的剩余极化(2Pr)约为16 μC/cm2,矫顽电场(Ec)约为110 kV/cm.这些结果表明,PBT固溶体薄膜有望成为铁电器件的候选材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈如麒	华南农业大学公共基础课实验教学中心	19	58	3.0	7.0
2	朱贵文	广东药学院基础学院	10	11	2.0	2.0