Fe掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜微观结构与电学性质的影响研究

• 作者: 娄本浊
• 来源期刊: 陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜 Fe掺杂效应 射频磁控溅镀法 微观结构 电学性质
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 23-25
• 分类号: TQ174.1
• 字数: 2508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2872.2012.08.006

摘要

笔者利用射频磁控溅镀法在Pt/SiO2/Si(100)基板上制备出Fe掺杂量分别为0、0.5％、1.0％、2.0％、3.0％及5.0％的Ba0.5 Sr0.5TiO3薄膜,并讨论了Fe掺杂含量对其微观结构结与电学性质的影响.由XRD分析可知,Fe掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的晶体结构并无较大的影响；从SEM结果则可得出,微量Fe掺杂时薄膜较为致密,且晶粒大小较一致.电性结果表明,掺Fe薄膜的相对介电常数和电容均呈现下降趋势,且Fe掺杂含量分别为0.5％、1.0％及2.0％时薄膜具有较小的漏电流密度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	娄本浊	陕西理工学院物理与电信工程学院	73	147	6.0	8.0