溅射气压对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜变容管漏电特性影响研究

• 作者: 周勇 宋阳 蒋书文
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射气压 钛酸锶钡(BST) 薄膜 变容管 漏电流 调谐率
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 43-45,57
• 页数: 4页
• 分类号: TM53
• 字数: 2384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2013.11.011

摘要

在氧气和氩气的混合气体中,采用射频磁控溅射方法在蓝宝石基片上溅射生长了Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜,使用微细加工工艺制备了BST薄膜变容管,研究了溅射气压对薄膜变容管漏电流特性的影响.结果表明在基片温度800℃,溅射气压2.0 Pa,氧氩分压比为3∶17的条件下沉积的BST薄膜结构致密,表面平整,所制薄膜变容管具有较小漏电流,在较高外加电场强度(3.0×106 V/cm)下其漏电流密度不超过1.3×10-4 A/cm2,耐压可以达到120 V,调谐率约为53.7％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋书文	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	30	197	7.0	12.0
2	周勇	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	15	17	2.0	3.0
3	宋阳	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	7	1.0	2.0