基于衍射和透射光学模型的边沿定位法

• 作者: 孙兴 孙同景 李振华 段彬 陶亮
• 来源期刊: 山东大学学报：工学版
• 学科: 工学
• 关键词: 边沿定位 衍射 透射衰减 光强分布 光学模型
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 控制科学与工程
• 页码范围: 54-59
• 分类号: O434|TP391
• 语种: 中文

摘要

给出了一种适用于光的衍射和透射双重作用下的边沿定位算法，能够准确定位曝光对象投影图像的边沿。分析了普通单色可见光的衍射模型在透射环境下的局限性，然后根据菲涅尔衍射模型和透射性光线的衰减定律，提出了衍射和透射双重作用下的光强模型，基于该模型推导了边沿定位算法。所提出的新光学模型，是单色光的菲涅尔衍射模型在透射情形下的推广，边沿定位是该模型的一个重要应用。经过使用待定系数法计算曝光对象材料的衰减系数集，使该算法独立于曝光对象的具体材质。实验结果验证了该算法的定位精度和效率均优于算子法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李振华	山东大学控制科学与工程学院	57	459	12.0	20.0
2	孙同景	山东大学控制科学与工程学院	75	1556	18.0	37.0
3	段彬	山东大学控制科学与工程学院	15	80	6.0	8.0
4	孙兴		1	1	1.0	1.0