多晶硅尾气回收吸附塔再生气回收分析

• 作者: 吕昌彦 孙晓龙 王航舟 郑斌 陈自力
• 来源期刊: 精细与专用化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 尾气回收 吸附塔 氢气 再生气
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 应用科技
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TQ113.264
• 字数: 2105字
• 语种: 中文

摘要

多晶硅尾气回收中吸附塔再生气的主要成分为氢气，回收利用价值较高。阐述了多晶硅尾气回收吸附塔再生气冷凝气相回收利用的过程。分析发现吸附塔反吹气，经三级冷却将反吹气中的HCI、氯硅烷，进行分离回收，所得气相氢气回收再利用，造成回收氢气中的甲烷、氮气含量随时间变化累计增加。再生分离所得气相部分需要经过再处理才可进行回收利用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑斌		3	9	2.0	3.0
2	吕昌彦		8	11	2.0	3.0
3	陈自力		6	17	2.0	4.0
4	孙晓龙		4	7	1.0	2.0
5	王航舟		5	7	1.0	2.0