半导体制造业降低全氟化碳（PFCs）排放的研究

• 作者: 相震
• 来源期刊: 环境科学与管理
• 学科: 地球科学
• 关键词: 减排 全氟化碳 半导体 污控途径 全球气候变化
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 环境研究
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: X511
• 字数: 4656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1212.2012.06.016

摘要

半导体制造业作为信息产业的基础，半导体元件的需求增长迅速。半导体行业的环保节能研究已成为技术发展的主题。全氟化碳（PFCs）为目前认为具有高温室气体暖化潜势的气体，也是《京都议定书》控制的6种温室气体之一，对气候的影响能力不可忽视。全球各半导体行业、环保部门及相关研究机构仍在不断努力减排。本文从半导体行业中PFCs的排放现状、产污环节、排放特点、污控途径、激励措施等方面对其减排途径进行了研究和分析。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	相震		23	169	7.0	11.0